Технические требования к параметрам монокристаллов кремния КДБ 0,5-20 для солнечной энергетики

Параметр Единицы
измерения
Значения параметров Метод тестирования
Диаметр монокристалла мм 152,5±1,5
202,5± 0,5
 
Минимальная длина слитка мм 200  
Тип проводимости, легирующая примесь   p - тип (бор) ASTM F-42
Ориентация монокристалла   (100) ASTM F-26
Разориентация геометрической оси слитка, не более градус 3 ASTM F-26
Удельное сопротивление (R) Ом*см 0,5-20 ASTM F-84
Радиальное отклонение удельного сопротивления от среднего значения, по пластине, не более % 8 ASTM F-81
Концентрация оптически активного кислорода, не более см-3 9*1017 ASTM F-1188
Радиальный разброс концентрации кислорода, не более % 8 ASTM F-951
(план B)
Концентрация углерода, не более см-3 3*1016 ASTM F-1391
Время жизни, не менее мкс 10 ASTM F-1535
Структурное совершенство:
- микродефекты (EPD, S-pits, BMD), не более
- свирли, двойники, страты, линии скольжения
см-2
103
отсутствуют
ASTM F-1727
Плотность дислокационных ямок травления, не более см-2 10 ASTM F-1725

 

Hosted by uCoz