Технические требования к параметрам монокристаллов кремния КДБ 0,5-20 для солнечной энергетики
Параметр | Единицы измерения |
Значения параметров | Метод тестирования |
Диаметр монокристалла | мм | 152,5±1,5 202,5± 0,5 |
|
Минимальная длина слитка | мм | 200 | |
Тип проводимости, легирующая примесь | p - тип (бор) | ASTM F-42 | |
Ориентация монокристалла | (100) | ASTM F-26 | |
Разориентация геометрической оси слитка, не более | градус | 3 | ASTM F-26 |
Удельное сопротивление (R) | Ом*см | 0,5-20 | ASTM F-84 |
Радиальное отклонение удельного сопротивления от среднего значения, по пластине, не более | % | 8 | ASTM F-81 |
Концентрация оптически активного кислорода, не более | см-3 | 9*1017 | ASTM F-1188 |
Радиальный разброс концентрации кислорода, не более | % | 8 | ASTM F-951 (план B) |
Концентрация углерода, не более | см-3 | 3*1016 | ASTM F-1391 |
Время жизни, не менее | мкс | 10 | ASTM F-1535 |
Структурное совершенство: - микродефекты (EPD, S-pits, BMD), не более - свирли, двойники, страты, линии скольжения |
см-2 | 103 отсутствуют |
ASTM F-1727 |
Плотность дислокационных ямок травления, не более | см-2 | 10 | ASTM F-1725 |