Технические требования к параметрам монокристаллов кремния КДБ-(1-30)-202,5 для микроэлектроники
| Параметр | Единицы измерения |
Значения параметров | Метод тестирования |
| Диаметр монокристалла | мм | 202,5±0,3 | |
| Минимальная длина слитка | мм | 250 | |
| Тип проводимости, легирующая примесь | p - тип (бор) | ASTM F-42 | |
| Ориентация монокристалла | (100) | ASTM F-26 | |
| Разориентация геометрической оси монокристалла от кристаллографического направления, не более | градус | 2 | ASTM F-26 |
| Удельное сопротивление (R) | Ом*см | 1 - 30 | ASTM F-84 |
| Радиальный градиент удельного сопротивления (RRG), не более | % | 10 | ASTM F-81 |
| Концентрация оптически активного кислорода (No) | см-3 | 7-9*1017 | ASTM F-1188 |
| Радиальный градиент кислород (ORG), не более | % | 10 | ASTM F-951 (план B) |
| Концентрация углерода (Nc), не более | см-3 | 2,5*1016 | ASTM F-1391 |
| Время жизни, не менее | мкс | 4 p | ASTM F-1535 |
| Структурное совершенство: - микродефекты (EPD, S-pits, BMD), не более - свирли, двойники, страты, линии скольжения |
см-2 | 102 отсутствуют |
ASTM F-1727 |
| Плотность дислокационных ямок травления, не более | см-2 | 10 | ASTM F-1725 |
| Окислительные дефекты упаковки, не более | см-2 | 102 | ASTM F-1727 |