Технические требования на монокристаллический кремний марки КЭФ-4,5-152,5 для микроэлектроники
| Параметр | Единицы измерения |
Значения параметров | Метод тестирования |
| Диаметр монокристалла | мм | 152,5±1,5 | |
| Минимальная длина слитка | мм | 200 | |
| Тип проводимости, легирующая примесь | n - тип (фосфор) | ASTM F-42 | |
| Ориентация монокристалла | (100) | ASTM F-26 | |
| Разориентация геометрической оси монокристалла от кристаллографического направления, не более | градус | 2 | ASTM F-26 |
| Удельное сопротивление (R) | Ом*см | 4,5±0,9 | ASTM F-84 |
| Радиальный градиент удельного сопротивления (RRG), не более | % | 10 | ASTM F-81 (план B) |
| Концентрация кислорода (No) | см-3 | 7-9*1017 | ASTM F-1188 |
| Радиальный градиент кислород (ORG), не более | % | 10 | ASTM F-951 |
| Концентрация углерода (Nc), не более | см-3 | 2,5*1016 | ASTM F-1391 |
| Время жизни н.н.з, не менее | мкс | 18 | ASTM F-1535 |
| Структурное совершенство: - микродефекты (EPD, S-pits, BMD), не более - свирли, двойники, страты, линии скольжения |
см-2 | 102 отсутствуют |
ASTM F-1727 |
| Плотность дислокации, не более | см-2 | 10 | ASTM F-1725 |
| Окислительные дефекты упаковки (ОДУ), не более | см-2 | 102 | ASTM F-1727 |